1

设备自动化

获取各设备上的数据、监控参数并收集设备源数据,通过单一工程或相连工程的控制为防止事故和良率提高做贡献。

  • 实现设备 SECS/GEM 通讯
  • 设备最优化运营
  • 提供生产及品质管理数据
  • MES和 Engineering系统间实时联动

生产物流自动化

与企业系统相联动并构建,活用代表性的RFID、条码等自动识别技术,迅速及准确地获取并控制数据、提高作业效率为目。

  • Chip ID追溯管理
  • 工程管控
  • 生产实际管理
2
3

ESH

通过采集工厂资源的监测、测量数据搭建管理系统并执行相关业务,有效提高环境感知度并提供稳定地工厂环境。

  • 工厂 ESH指数数据化
  • 实时监控工厂综合环境
  • 节约工厂资源
  • 构建生产产品的最佳品质环境

​半导体物流设备

通过Conversion KIT的ID管理与MES联动,单纯的操作就能实现在设备上出入 KIT并实现 KIT的相关数据管理。

  • KIT 生命周期管理
  • 缩短 PM时间
  • 预防品质事故
  • 防止错误投入/混放
  • 赋予KIT ID
4