设备自动化
获取各设备上的数据、监控参数并收集设备源数据，通过单一工程或相连工程的控制为防止事故和良率提高做贡献。
- 实现设备 SECS/GEM 通讯
- 设备最优化运营
- 提供生产及品质管理数据
- MES和 Engineering系统间实时联动
生产物流自动化
与企业系统相联动并构建，活用代表性的RFID、条码等自动识别技术，迅速及准确地获取并控制数据、提高作业效率为目。
- Chip ID追溯管理
- 工程管控
- 生产实际管理
ESH
通过采集工厂资源的监测、测量数据搭建管理系统并执行相关业务，有效提高环境感知度并提供稳定地工厂环境。
- 工厂 ESH指数数据化
- 实时监控工厂综合环境
- 节约工厂资源
- 构建生产产品的最佳品质环境
半导体物流设备
通过Conversion KIT的ID管理与MES联动，单纯的操作就能实现在设备上出入 KIT并实现 KIT的相关数据管理。
- KIT 生命周期管理
- 缩短 PM时间
- 预防品质事故
- 防止错误投入/混放
- 赋予KIT ID
